发信人: hithere (行者), 信区: NTM
标  题: 谈谈微细特种加工
发信站: 哈工大紫丁香 (2000年08月08日18:18:24 星期二), 站内信件

特种加工从原理上看多属非接触式加工，加工中不会产生宏观的切削力，并
且所使用的能量可以精确控制。还能够加工出复杂的三维形状零件，因此同
传统机械加工相比在微细加工领域有很大的优越性。同采用光刻技术MEMS技
术相比，所能处理的材料非常广泛，绝不仅限于硅等半导体，而是各种性能
优良的金属、合金、陶瓷等均能加工。所以非常有希望成为MEMS技术的有力
补充和延伸，同时，如果能够解决相容性问题，则充分利用各种优势的混合
式系统就有可能诞生，并且得到单一技术所不可能得到的优越性能。例如，
集成的传感器、运算器、致动器等均可以同采用微细特种加工所制成的结构
或功能部件集成在一起。可以预测，微细特种加工是特种加工未来的一个重
要发展方向，也会成为微纳米技术的一个重要组成部分。

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 )●_〗  )   走四方，
(- /  |▔      路迢迢，
 ▔)   ╲        水长长 ... ...

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※ 修改:·hithere 於 08月08日18:24:14 修改本文·[FROM: 202.118.226.1]