发信人: weihy (离休干部), 信区: NTM
标  题: 智能微系统导论(1)
发信站: 紫 丁 香 (Tue Apr 25 23:23:10 2000), 转信


一、 智能微系统的含义
智能微系统（Intelligent Micro System）是一门综合性新兴学科
和科学技术前沿领域。

早在30年前就有科学家提出微机械的设想，但是只有到微观尺度
生产领域制造技术（半导体微细加工技术）的应用，才为它的发展提
供了历史性的机遇。所以，实际上只是到了20世纪80年代末期，美国
加州大学伯克莱分校和麻省理工学院的研究人员，借助于半导体集成电路
制造技术（即IC工艺）研制成功了微米级的硅微型静电马达，从而诞生
了一个新的技术领域--微机械领域，并发展成为20世纪的一项高新技
术。特别是近10多年来，微机械、微电子和微光学之间的相互交叉、渗透
与综合，在技术上逐渐形成三维集成、以致多维集成系统，逐步显示出微机械
在国民经济、国防和科学技术等方面十分诱人的应用前景，在国际社会兴起
研究开发微机械技术的热潮。
就微机械来说，它的含义是多种多样的，且具有一定的模糊性，因为人们对于
微机械这一技术领域的认识并不完全一致，至今尚未给出一个权威性的明确概念。
一般在日本常称之为微机械（Micro machine），而在美国称之为微电子机械系统
(Micro Electro Mechanical Systems, 简称为MEMS，通常称为微机电系统)，在欧洲
则称之为微系统（Microsystem）。另外，也有称之为微光机电系统 Micro Optical
Electro Mechanical Systems, 简称为MOEMS）。在我国，上述几种技术名词都有
采用。总而言之，为了描述这一技术领域，冠以"微"（Micro）的新名词、新概念
不断出现。

随着在微机械技术发展的过程中，各分支学科间的交叉、渗透与综合日益增多，
对系统微型化、集成化和智能化的追求日益深化，以致创造新的高功能体系已
成为微机械技术发展的必然趋势。因此，目前已越来越多地提出并采用智能
微系统这个概念，期望在更高层次上广义地描述这一新兴技术领域的含义。

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