METech 版 (精华区)

发信人: hitter (请稍后...涅磐中), 信区: METech
标  题: 以下是制版提供的一个标样说明
发信站: 哈工大紫丁香 (2004年01月12日08:24:43 星期一), 站内信件



1. Type of Reticle:    1X
2. Technology:     >1um
3. Reticle Size (Inches):    5” x 5”
4. Total No. of  Reticle:    6
5. Smallest Feature Size:    10 um
6. Defect Size:     1.5 um
7. Spot Size:     0.25 um
8. Critical Dim Tolerance:   +/-0.3 um
9. Critical Dim Range:    0.3 um
10. Reticle Material:    Glass
其中有几个关键参数要给出。
CD（Critical Dimension Tolerance）主要给出线条的相对误差，如+/-0.3um，一般的
电子束制版是可以达到的。
还有就是缺陷大小和密度，对于不同的要求，提供在单位面积内（如每平方毫米）中多
大的缺陷有多少个。
你提到1um，不知何意，有可能是最小的线条尺寸，应该不是CD。如果要谈公差的话，
应该用CD来衡量，对于不同的CD要求，制版的费用是有所不一样的。
对于真正转移到衬底上图形的尺寸，还有很多环节要考虑的，主要是腐蚀的Undercut.

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               一念不起为坐，见本性不乱为禅;

               外不著相，内不乱为定

               外禅内定，故名禅定，即时豁然，还得本心…….

※ 来源:·哈工大紫丁香 bbs.hit.edu.cn·[FROM: 218.9.121.63]