METech 版 (精华区)

发信人: hitter (请稍后...涅磐中), 信区: METech
标  题: MEMS技术的应用领域
发信站: 哈工大紫丁香 (2004年01月12日08:20:30 星期一), 站内信件

　微机电系统将微电子技术和精密机械加工技术融合在
一起，实现了微电子与机械融为一体的系统。目前，ＭＥＭ
Ｓ技术几乎可以应用于所有的行业领域，而它与不同的技术
结合，往往便会产生一种新型的ＭＥＭＳ器件。根据目前的
研究情况，除了进行信号处理的集成电路部件以外，微机电
系统内部包含的单元主要有以下几大类：
　　（１）微传感器
　　传感器种类很多，主要包括机械类、磁学类、热学类、
化学类、生物学类等等，每一类中又包含有很多种。例如机
械类中又包括力学、力矩、加速度、速度、角速度（陀螺）
、位置、流量传感器等，化学类中又包括气体成分、湿度、
ｐＨ值和离子浓度传感器等。
　　（２）微执行器
　　主要包括微马达、微齿轮、微泵、微阀门、微开关、微
喷射器、微扬声器、微谐振器等。
　　（３）微型构件
　　三维微型构件主要包括微膜、微梁、微探针、微齿轮、
微弹簧、微腔、微沟道、微锥体、微轴、微连杆等。
　　（４）微机械光学器件
　　即利用ＭＥＭＳ技术制作的光学元件及器件，目前制备
出的微光学器件主要有微镜阵列、微光扫描器、微光阀、微
斩光器、微干涉仪、微光开关、微可变焦透镜、微外腔激光
器、光编码器等。
　　（５）真空微电子器件
　　它是微电子技术、ＭＥＭＳ技术和真空电子学发展的产
物，是一种基于真空电子输运器件的新技术，采用已有的微
细加工工艺在芯片上制造集成化的微型真空电子管或真空集
成电路。它主要由场致发射阵列阴极、阳极、两电极之间的
绝缘层和真空微腔组成。由于电子输运在真空中进行，因此
具有极快的开关速度、非常好的抗辐照能力和极佳的温度特
性。目前研究较多的真空微电子器件主要包括场发射显示器
、场发射照明器件、真空微电子毫米波器件、真空微电子传
感器等。
　　（６）电力电子器件
　　主要包括利用ＭＥＭＳ技术制作的垂直导电型ＭＯＳ（
ＶＭＯＳ）器件、Ｖ型槽垂直导电型ＭＯＳ（ＶＶＭＯＳ）
器件等各类高压大电流器件。
　　ＭＥＭＳ器件和系统具有体积小、重量轻、功耗低、成
本低、可靠性高、性能优异、功能强大、可以批量生产等传
统传感器无法比拟的优点，因此在航空、航天、汽车、生物
医学、环境监控、军事以及几乎人们接触到的所有领域中都
有着十分广阔的应用前景。


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               一念不起为坐，见本性不乱为禅;

               外不著相，内不乱为定

               外禅内定，故名禅定，即时豁然，还得本心…….

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