METech 版 (精华区)

发信人: hitter (请稍后...涅磐中), 信区: METech
标  题: 基于MEMS的新型传感器
发信站: 哈工大紫丁香 (2004年01月12日08:32:09 星期一), 站内信件

　微传感器微传感器(尺寸从几微米到几毫米的传感器总称)特别是以MEMS(微电子机械
系统)技术为基础的传感器已逐步实用化，这是今后发展的重点之一。
　　微机械设想早在1959年就被提出，其后逐渐显示出采用MEMS技术制造各种微型新型
传感器、执行器和微系统的巨大潜力。这项研发在工业、农业、国防、航空航天、航海
、医学、生物工程、交通、家庭服务等各个领域都有巨大的应用前景。MEMS技术近十年
来的发展令人瞩目，多种新型微传感器已经实用化，微系统研究已处于突破前夜，创新
的空间很大，已成为竞争研究开发的重点领域。
　　MEMS器件主要分为惯性测量、压力测量、微流量、光MEMS、射频MEMS以及其它MEMS
器件等多种类型及品种，而目前市售的MEMS器件主要有5种：压力传感器、加速度传感器
、微型陀螺、喷墨头、硬盘驱动头。销售最多的是IT领域的喷墨头、硬盘驱动头和汽车
领域中的压力传感器、加速度传感器、微型陀螺。而用于生物、化学测试系统的Lab-on
chip和其他类型生物芯片则刚刚显露出巨大的潜力。
　　预测认为，MEMS器件在21世纪初，其年销售额将以20%-30%的速度增长，2003年销售
额将达到115亿美元。
　　
--
               一念不起为坐，见本性不乱为禅;

               外不著相，内不乱为定

               外禅内定，故名禅定，即时豁然，还得本心…….

※ 来源:·哈工大紫丁香 bbs.hit.edu.cn·[FROM: 218.9.121.63]