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标  题: MEMS的前景
发信站: 哈工大紫丁香 (2004年01月12日08:16:30 星期一), 站内信件


 技术 市场 工艺 投资
《世界电子元器件》12月号


微机电系统(MEMS)在研究领域已经有很长历史了，但一直没
有真正进入大规模产 业化阶段。而现在将硅芯片和微机械
结构结合在一起的光学元件为MEMS带来新的 商业机会。ME
MS热了起来，各种新起步的MEMS公司开始吸引大量的风险资
金。一 些在此领域已经发展了数年的公司宣称自己开始得
到回报，甚至已经赢利。但业 内人士认为MEMS元件仅仅是
刚开始从实验室走向实用，对许多半导体公司来说， MEMS
业务最终能否取得成功的关键在于他们如何充分利用在IC方
面获得的设计、 制造和市场经验。
业内人士指出：虽然MEMS领域有很多机会，但与IC相比，现
在其技术和市场都尚 未成熟。其成本目前依然很高，资金
投入的回报不能得到保证。当然，MEMS有着 广阔的前景,将
会成为一种不容忽视的技术。
投资大，周期长
Cahners市场研究公司的的高级分析师Marlene Bourne认为
：“风险资金总是希望 快速获得回报，而MEMS却并不是这
样的项目。MEMS的开发费用非常高，并且需要 很长的时间
，而产品开发出来后并不一定能在市场上取得成功。
德州仪器(TI)公司的数字驱动微镜阵列芯片(Digital Micr
omirror Device ，DMD)在大屏幕投影领域相当成功，但德
州仪器光网络部的首席技术官Richard Knip e指出，这款产
品早在1996年就推出了，而直到去年才为公司带来利润。现
在德州 仪器正在将这一技术应用于通信网络光开关的开发
，这是一个相当大的市场。可 Knipe认为传统的半导体业有
1000多亿美元的市场，而MEMS的市场却小的多，众多 的公
司一拥而上将使获利空间减小。这与20年前的半导体业有些
类似。
与德州仪器相似，模拟器件公司(Analog Devices)1991年就
推出了首款MEMS产 品，这是一款集成单片加速计，该产品
去年才产生利润。模拟器件公司的副总裁 Franklin Weigo
ld表示：“要开发出成功的MEMS产品并解决投产过程中面临
的诸 多问题需要相当大的投资。”Weigold称，为了在MEM
S方面获利，模拟器件公司先 后共投入了500人进行开发，
总投资额超过了1亿美元。
市场前景看好
根据Cahners的预测，全球MEMS市场去年超过了20亿美元，
未来将增长到110亿美 元。有业内人士认为，IC是电子系统
的大脑，而MEMS以微型传感器和传动器使系 统具备感知和
控制能力，是系统的眼睛和手臂。
美国政府曾通过国家科学基金对MEMS的早期研究与开发提供
了大力支持。其投资 增长很快，1991年投入的资金只有约
300万美元，而1995年就达到了3500万美元， 主要来自美国
国防部。
但现在美国政府的投资与风险资金相比就显得微不足到了。
根据Cahners的统计， 2001年第一季度MEMS公司得到的资金
就达到了5亿美元，这相当于去年全年的总投 资额。
MEMS与IC
Intel积极进军MEMS领域的原因是它可以充分利用自己在半
导体芯片制造方面积累 的技术和经验。Intel认为自己在芯
片分析和调试方面的技术，如激光蚀刻和聚焦 离子束刻蚀
，可以应用于MEMS原型制作。而硅工艺技术，包括光刻和蚀
刻技术可 以在MEMS生产中采用。而该公司在产品生产方面
积累的经验，如统计学工艺控制 和提高成品率等对MEMS器
件的批量生产更具意义。Intel已经在光网络、语音识别 、
高清晰度显示屏及软件和IP平台等领域的多家MEMS公司进行
了投资。
但业内人士认为IC与MEMS在工艺上有很多不同之处， MEMS
所需的开发费用过于昂 贵。MEMS Exchange的经理Huff就认
为，“IC有很多标准化工艺，不管是双极晶体 管、BICMOS
还是CMOS，而MEMS的花费却高得多。每个MEMS器件都需要不
同的工艺 流程，生产压力传感器的工艺流程与生产墨喷嘴
的工艺流程是完全不同的。这在很大程度上属于机械领域。
”
但MEMS供应商在制造过程中最棘手的封装技术上确实取得了
进展。Bourne称后端 工序占了MEMS器件成本的近90%(一说
是近50%)。MEMS的封装非常有难度，因为 封装会很容易使
光器件的信号变的模糊不清，或影响机械系统的传感和控制
功能 。 但现在许多MEMS公司开始从原来的技术封闭走向共
享，与自己的合作伙伴一起克服面临的技术问题，包括封装
。
MEMS Exchange的经理Huff指出，MEMS公司最好将其产品在
两家不同的工厂进行生产，其中一家负责MEMS的机械部分，
另一家传统的IC工厂负责硅部分。参与的工厂不能获得开发
商的IP(知识产权)。这可以刺激创新并降低新公司的成本。

1969年从Fairchild 公司独立出来的MEMSCAP公司的总裁Je
an-Michel Karam说：“如果从不同领域挑选的话，我更倾
向于用来自半导体业的人员。机械工程师在 MEMS领域将遇
到比微电子工程师更多的困难。机械方面我们唯一需要做的
就是分析MEMS的机械结构。每10个非机械人员配备一个机械
方面的工程师就够了”。
随着MEMS开发人员对技术越来越熟悉，象Intel和Agere这样
的公司极力想更多的利用现有的工具开发高度集成的MEMS器
件。但也有部分设备供应商正在开发专用 于MEMS生产的工
具。在IC设备市场上，大供应商占据了主导地位。而在MEM
S设备 市场上，应用领域都是专用的，并且制造很困难，众
多的小设备供应商也将在这一领域找到自己的空间。
本文章由《世界电子元器件》(GEC)提供

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               一念不起为坐，见本性不乱为禅;

               外不著相，内不乱为定

               外禅内定，故名禅定，即时豁然，还得本心…….

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