METech 版 (精华区)

发信人: hitter (请稍后...涅磐中), 信区: METech
标  题: MEMS的中国研究情况
发信站: 哈工大紫丁香 (2004年01月12日08:19:02 星期一), 站内信件


我知道一些,CKK才是行家.权当个人的一些浅见
微机械并不是半导体技术所专有的一项技术,早在微电子技术开始的前就有许多的从事
机械和力学的专家试图实现这种微小而却不那末简单的DEVICE.只是微电子学的微细加
工技术的快速进步和机械和电子系统的有机结合使得微机械逐步得到人们的重视,并
逐步向微电子机械系统发展.微电子机械系统最简化的模型可以把它看成是传感器+处理
电路+执行控制器的组合.显然系统的输入和输出可能多数都是非电学信号,而它中枢确是由
电路在控制着(一些最彻底的 SOC主义者是非常强调MEMS在SOC上的作用的).这些输入输出
的非电学量的采集和实施成为该学科研究的一个方向,比如加速度传感器就是如何把位移的
两阶时间倒数通过半导体的物理效应进而电学信号表现出来,以能对它进行处理.显然大家
看到这个过程涉及了力学,材料性质和物理效应和微电子电路这些学科,而具体实现时则不
仅仅微电子工艺,设计时相关的机械性能和热力参量都是要考虑的因素.因此MEMS是一门真
正的交叉学科.
国际上当然美国是很先进的.不过欧洲特别是德国由于其深厚的工业传统似乎在者方
面也相当突出,好像LIGA技术就是出自德国(RIGHT CKK?错了请指正).国内除了清华外东
南大学和复旦的也有人在作,不过好像科学院在国防科工委的支持下搞到不少相关项目,据
说MEMS的973项目负责人就是科学院的.(也好像是李教夫的学生?)
值得一提的是在目前光通信发展中所急需的许多光电器件正需要MEMS的技术,出现
了所谓微光机电系统.
以上鄙论,纯属外行看热闹,希望能抛砖引玉.
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               一念不起为坐，见本性不乱为禅;

               外不著相，内不乱为定

               外禅内定，故名禅定，即时豁然，还得本心…….

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