METech 版 (精华区)

发信人: hitter (请稍后...涅磐中), 信区: METech
标  题: 部分MEMS发展史
发信站: 哈工大紫丁香 (2004年01月12日08:19:44 星期一), 站内信件



1959年，美国R.Feynmam首先提出微型机械的设想。1962年，微小器件的先驱－硅微压
力传感器问世。其主要技术基础是硅膜、压敏电阻和体硅腐蚀工艺。其后用硅加工方法
开发出尺寸为50um～500um的齿轮、齿轮泵、气动轮及连接件等结构。1987年，美国加州
伯克利分校研制出转子直径为60 ～120 的硅微静电电机，其主要技术基础是牺牲层腐蚀
工艺和静电驱动，显示用硅微加工方法可以制作三维可动的机电系统。同年，美国NSF启
动了第一个MEMS计划。1991年，日本通产省开始实施为期10年，总投资为250亿日元的“
微型机械技术”大型研究开发计划。这两个举动对世界MEMS发展有重大影响。
【 在 whangwei (~benben~绿豆~) 的大作中提到: 】
: 那那个得了费曼第二个1000美元的家伙做出了什么？
: 我看文献说是1960年就得到这个奖了

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               一念不起为坐，见本性不乱为禅;

               外不著相，内不乱为定

               外禅内定，故名禅定，即时豁然，还得本心…….

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