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发信人: hitter (请稍后...涅磐中), 信区: METech
标  题: 一个全新的技术领域－微机电系统
发信站: 哈工大紫丁香 (2004年01月12日08:46:52 星期一), 站内信件

一个全新的技术领域——微机电系统（ＭＥＭＳ）
  　　微电子技术的巨大成功在许多领域引发了一场微小型
化革命，以加工微米／纳米结构和系统为目的的微米／纳米
技术（Ｍｉｃｒｏ／ＮａｎｏＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ）在
此背景下应运而生。一方面人们利用物理化学方法将原子和
分子组装起来，形成具有一定功能的微米／纳米结构；另一
方面人们利用精细加工手段加工出微米／纳米级结构。前者
导致了纳米生物学、纳米化学等边缘学科的产生，后者则在
小型机械制造领域开始了一场新的革命，导致了微机电系统
（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳ
ｙｓｔｅｍｓ，ＭＥＭＳ）的诞生。
　　微电子机械系统是微电子技术的拓宽和延伸，它将微电
子技术和精密机械加工技术相互融合，实现了微电子与机械
融为一体的系统。
　　ＭＥＭＳ技术的发展开辟了的技术一个全新领域和产业
。它们具有许多传统传感器无法比拟的优点，因此在航空、
航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们接触
到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。
　　ＭＥＭＳ技术及其产品正在迅速增长，预计到２０００
年，全世界ＭＥＭＳ的市场将达到１２０至１４０亿美元，
而带来的与之相关的市场将达到１０００亿美元。
　　ＭＥＭＳ将电子系统和外部世界有机地联系起来，它不
仅可以感受运动、光、声、热、磁等自然界信号，并将这些
信号转换成电子系统可以认识的电信号，而且还可以通过电
子系统控制这些信号，进而发出指令，控制执行部件完成所
需要的操作。
　　从广义上讲，ＭＥＭＳ是指集微型传感器、微型执行器
以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的
完整微型机电系统。ＭＥＭＳ主要包含微型传感器、执行器
和相应的处理电路三部分。
　　作为输入信号的自然界各种信息首先通过传感器转换成
电信号，经过信号处理以后（模拟／数字）再通过微执行器
对外部世界发生作用。传感器可以把能量从一种形式转化为
另一种形式，从而将现实世界的信号（如热、运动等信号）
转化为系统可以处理的信号（如电信号）。执行器根据信号
处理电路发出的指令完成人们所需要的操作。信号处理器则
可以对信号进行转换、放大和计算等处理。Ａｎａｌｏｇ公
司已研制成集成微加速度传感器和处理电路的芯片。
　　ＭＥＭＳ技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探
索具有新原理、新功能的元件和系统。ＭＥＭＳ技术开辟了
一个全新的领域和产业。它们不仅可以降低机电系统的成本
，而且还可以完成许多大尺寸机电系统无法完成的任务。例
如尖端直径为５μｍ的微型镊子可以夹起一个红细胞，３ｍ
ｍ大小的能够开动的小汽车，可以在磁场中飞行的象蝴蝶大
小的飞机等。

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               一念不起为坐，见本性不乱为禅;

               外不著相，内不乱为定

               外禅内定，故名禅定，即时豁然，还得本心…….

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