METech 版 (精华区)

发信人: hitter (请稍后...涅磐中), 信区: METech
标  题: MEMS BOOKS
发信站: 哈工大紫丁香 (2004年01月18日15:52:50 星期天), 站内信件



Microsensors, edited by R. S. Muller et al., 
IEEE Press (ISBN 0-87942-245-9), 1991

Micromechanics and MEMS, edited by W. Trimmer, 
IEEE Press (ISBN 0-7803-1085-3), 1997

Sensor Technology and Devices, edited by L. Ristic, 
Artech House (ISBN 0-89006-532-2), 1994

Fundamentals of Microfabrication, by M. Madou, 
CRC Press (ISBN 0-8493-9451-1), 1997

Micromachined Transducers Sourcebook, by G. T.A. Kovacs,
 McGraw-Hill (ISBN 0-07-290722-3), 1998

Silicon Micromachining, by M. Elwenspoek and H. Jansen, 
Cambridge (ISBN 0-521-59054-X), 1999

The fourth and fifth ones are the most popular now in USA.


--
               一念不起为坐，见本性不乱为禅;

               外不著相，内不乱为定

               外禅内定，故名禅定，即时豁然，还得本心…….

※ 来源:·哈工大紫丁香 bbs.hit.edu.cn·[FROM: 218.9.120.186]