METech 版 (精华区)

发信人: hitter (请稍后...涅磐中), 信区: METech
标  题: mems 英文参考书
发信站: 哈工大紫丁香 (2004年01月12日08:14:24 星期一), 站内信件


1.Malfu N. An introduction to microelectromechanical systems engineering. Bost
on: Artech House, 2000
2.Lyshevski SE. Nano- and microelectromechanical systems : fundamentals of nan
o- and microengineering, Boca Raton: CRC Press,2001
3. Kamins T. Polycrystalline silicon for integrated circuits, Boston, MA: Kluw
er Academic Publishers, 1988
4.Kovacs GTA. Micromachined transducers sourcebook, New York: McGraw-Hill, 199
8
5.Madou M. Fundamentals of microfabrication, Boca Raton: CRC Press, 1997
6.Gad-el-Hak M. The MEMS Handbook, Boca Raton: CRC Press, 2001
7. Wai-Kai Chen .The VLSI Handbook. Boca Raton: CRC Press, 2000
8.Richard C. Jaeger. Introduction to microelectronic fabrication(Second Editio
n), New Jersey:Prentice Hall,2000
9.Stephen D. Senturia，Microsystem Design, Kluwer Academic Publishers, 2001
10.M.-H. Bao，Micromechanical Transducers: Pressure sensors, accelrometers, an
d gyroscopes ， Elsevier, New York, 2000.
11.William Trimmer,Micromechanics and MEMS: Classic and Seminal Papers to 1990
.  IEEE Press, New York，1997
12.Fujimasa I. Micro-machines —A new era in mechanical engineering, Oxford Un
iversity Press, 1996
13.Bharat Bhushan，Handbook of Micro/Nano Tribology, Second Edition，CRC Press
 ，1998
14.Sergey Edward Lyshevski，MEMS and NEMS: Systems, Devices, and Structures,CR
C Press ,2002
-
--
               一念不起为坐，见本性不乱为禅;

               外不著相，内不乱为定

               外禅内定，故名禅定，即时豁然，还得本心…….

※ 来源:·哈工大紫丁香 bbs.hit.edu.cn·[FROM: 218.9.121.63]