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发信人: hitter (有天), 信区: METech
标  题: 微电子机械系统技术简介
发信站: 哈工大紫丁香 (Sun Dec 28 21:53:41 2003), 站内信件


    MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的缩写，即微电子机械系统。微电


子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术（micro/nanotechnology）基础上的21

世纪前沿技术，是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可


将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种微


电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或


根据外部的指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加


工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型


化的传感器、执行器、驱动器和微系统。  
　　 
　　微电子机械系统（MEMS）是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术，该技术


将对未来人类生活产生革命性的影响。它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、


材料等多学科。  
　　  
　　对微电子机械系统(MEMS)的研究主要包括理论基础研究、制造工艺研究及应用研究


三类。理论研究主要是研究微尺寸效应、微磨擦、微构件的机械效应以及微机械、微传


感器、微执行器等的设计原理和控制研究等；制造工艺研究包括微材料性能、微加工工


艺技术、微器件的集成和装配以及微测量技术等；应用研究主要是将所研究的成果，如


微型电机、微型阀、微型传感器以及各种专用微型机械投入实用。 

　　微电子机械系统（MEMS）的制造，是从专用集成电路（ASIC）技术发展过来的，如


同ASIC技术那样，可以用微电子工艺技术的方法批量制造。但比ASIC制造更加复杂，这


是由于微电子机械系统（MEMS）的制造采用了诸如生物或者化学活化剂之类的特殊材料，


是一种高水平的微米/纳米技术。微米制造技术包括对微米材料的加工和制造。它的制造


工艺包括：光刻、刻蚀、淀积、外延生长、扩散、离子注入、测试、监测与封装。  
　　  
　　纳米制造技术和工艺，除了包括微米制造的一些技术（如离子束光刻等）与工艺外，


还包括利用材料的本质特性而对材料进行分子和原子量级的加工与排列技术和工艺等。  


　　 
　　微电子机械系统的制造方法包括LIGA工艺（光刻、电镀成形、铸塑)、声激光刻蚀、


非平面电子束光刻、真空镀膜（溅射）、硅直接键合、电火花加工、金刚石微量切削加


工。目前，国际上比较重视的微型机电系统的制造技术有：牺牲层硅工艺、体微切削加


工技术和LIGA工艺等，新的微型机械加工方法还在不断涌现，这些方法包括多晶硅的熔


炼和声激光刻蚀等。 

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※ 来源:．哈工大紫丁香 bbs.hit.edu.cn [FROM: 218.9.122.2]