Mechatronics 版 (精华区)

发信人: grace (忧昙花★寒月独香), 信区: Mechatronics
标  题: MEMS BOOKS
发信站: 哈工大紫丁香 (2001年02月05日20:26:45 星期一), 站内信件

发信人: janeson (开心一族), 信区: METech
标  题: MEMS BOOKS
发信站: BBS 水木清华站 (Wed Nov 22 06:06:55 2000)

Microsensors, edited by R. S. Muller et al.,
IEEE Press (ISBN 0-87942-245-9), 1991

Micromechanics and MEMS, edited by W. Trimmer,
IEEE Press (ISBN 0-7803-1085-3), 1997

Sensor Technology and Devices, edited by L. Ristic,
Artech House (ISBN 0-89006-532-2), 1994

Fundamentals of Microfabrication, by M. Madou,
CRC Press (ISBN 0-8493-9451-1), 1997

Micromachined Transducers Sourcebook, by G. T.A. Kovacs,
 McGraw-Hill (ISBN 0-07-290722-3), 1998

Silicon Micromachining, by M. Elwenspoek and H. Jansen,
Cambridge (ISBN 0-521-59054-X), 1999

The fourth and fifth ones are the most popular now in USA.


--

※ 修改:·janeson 於 Nov 22 06:38:49 修改本文·[FROM:  202.192.157.41]
※ 修改:·janeson 於 Nov 22 06:39:52 修改本文·[FROM:  202.192.157.41]
※ 来源:·BBS 水木清华站 smth.org·[FROM: 202.192.157.41]

--
      ▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓
      ▓      早已明知对他的爱，开始就不应该，      ▓
      ▓       我却愿将一世交换他一次真意对待!      ▓
      ▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓▓

※ 来源:·哈工大紫丁香 bbs.hit.edu.cn·[FROM: grace.hit.edu.cn]