Mechatronics 版 (精华区)

发信人: grace (忧昙花★寒月独香), 信区: Mechatronics
标  题: [微电子技术]微电子机械系统(MEMS)技术简介 (转载)
发信站: 哈工大紫丁香 (2001年02月05日21:14:09 星期一), 站内信件

发信人: freewing (海狸~未来的主人翁~福歇也是人), 信区: METech
标  题: [范文][微电子技术]微电子机械系统(MEMS)技术简介 (转载)
发信站: BBS 水木清华站 (Wed Oct 25 18:04:03 2000)

【 以下文字转载自 New_board 讨论区 】
【 原文由 sinan 所发表 】
随着技术的进步与生产力水平的提高，生产、科研和日常消费对小体积，低能耗，高精
度，高稳定度的集成系统技术的要求越来越高。具体的说，这一对新技术的要求希望该
技术生产的产品具有以下的一些特点：
1. 质量与体积的全面减小
2. 低生产成本
3. 低能耗
4. 较低的生产原料消耗
5. 避免使用昂贵，稀少或有害环境的原料
6. 使用寿命长
7. 较简单的标准化的通讯方式，从而避免复杂的布线与外围电路

七十年代以来，由于集成电路技术的迅猛发展，信息处理这一单元部分的设
计与生产是非常成熟的，其速度越来越快，其体积越来越小。然而，传感器与执行器的
技术发展却远远落后，使得信息处理能力相对过剩，而信息获得与命令执行能力却远远
落后的现象。这一现象已经开始明显的影响了技术的进一步发展，原因体现在：

一、随着集成电路技术向超大规模和甚大规模发展，电子系统进一步微型化的主要瓶颈在
于
一、随着集成电路技术向超大规模和甚大规模发展，电子系统进一步微型化的主要瓶颈在
于
与之接口的各种传感器与处理器的体积，其工作速度的进一步提高也受到传感器与执行
器落后的性能的制约。这就要求传感器件和执行器件必须进一步微型化，并应使其工作
速度、功耗、可靠性等都能与集成电路匹配，从而可以与电路集成在同一硅芯片上，，
与集成电路同步、协调地工作，使整机达到最佳性能。

（二）目前集成电路采用批量大生产方法，已使其生产成本大大低于接口的传感器和执
行器。后两者如果不能象集成电路那样的批量大生产，系统整体成本仍难以大幅度下降
。
在这样的背景下，MEMS技术应运而生了。MEMS技术不是宏观机械技术的简单微型化，而
是使用硅材料和微细加工方法批量制作的微型系统，它可以将微型传感器、微型执行器
以及信号处理和控制电路、乃至接口、通讯和电源等集于一体，达到提高电子系统整体
性能，降低其整体成本的目的。

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Perhaps love is like a resting place
A shelter from the storm
It exists to give you comfort
It is there to keep you warm
If I should live forever,all my dreams come true
My memories of love will be of you


与之接口的各种传感器与处理器的体积，其工作速度的进一步提高也受到传感器与执行
（二）目前集成电路采用批量大生产方法，已使其生产成本大大低于接口的传感器和执
行器。后两者如果不能象集成电路那样的批量大生产，系统整体成本仍难以大幅度下降
。
在这样的背景下，MEMS技术应运而生了。MEMS技术不是宏观机械技术的简单微型化，而
是使用硅材料和微细加工方法批量制作的微型系统，它可以将微型传感器、微型执行器
以及信号处理和控制电路、乃至接口、通讯和电源等集于一体，达到提高电子系统整体
性能，降低其整体成本的目的。

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Perhaps love is like a resting place
A shelter from the storm
It exists to give you comfort
It is there to keep you warm
If I should live forever,all my dreams come true
My memories of love will be of you


※ 来源:·BBS 水木清华站 smth.org·[FROM: 166.111.76.24]

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      ▓      早已明知对他的爱，开始就不应该，      ▓
      ▓       我却愿将一世交换他一次真意对待!      ▓
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※ 来源:·哈工大紫丁香 bbs.hit.edu.cn·[FROM: grace.hit.edu.cn]