Mechatronics 版 (精华区)

发信人: grace (忧昙花), 信区: Mechatronics
标  题: 日本单晶硅提拉新技术
发信站: 哈工大紫丁香 (2000年06月05日13:42:21 星期一), 站内信件

发信站: BBS 水木清华站 (Fri Apr 28 16:40:53 2000)

日本单晶硅提拉新技术
    日本信州大学教授干川圭吾最近成功开发出一种新的单晶硅提拉技术，该技术通过
在种晶里添加一定数量的硼，使提拉的单晶硅能够达到1吨重，并提高了成品率。
      干川圭吾是不久前在日本应用物理学会年会上发表这项研究成果的。为了防止晶
体发生位错，传统的单晶硅提拉法是在结晶生长开始时必须制作一条细颈，因而被称为
“缩颈法”。由于缩颈的强度问题，提拉的单晶硅重量难以超过100千克。干川圭吾在种
晶里添加相当数量的硼后，大大增强了种晶强度，防止了晶体的位错，因此不再
需要制作3毫米直径的细颈。这种新方法将取代使用了30年的缩颈法，它不仅能够制作大
型的单晶硅，而且能够缩短晶体生长时间，提高成品率，为廉价生产超大规模集成电路
所需要的大型单晶硅提供了可能性。
      信州大学的单晶硅提拉技术研究是从1996年开始的，它是日本文部省“开拓未来
学术研究计划”的课题之一。

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八风吹不动，一 P 打过江。

※ 来源:·BBS 水木清华站 smth.org·[FROM: 166.111.73.16]



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※ 来源:·哈工大紫丁香 bbs.hit.edu.cn·[FROM: grace.hit.edu.cn]