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发信人: hfl (凤凰·凤秘·蜂蜜), 信区: NanoST
标  题: 【范文】表面分析技术(转载)
发信站: 哈工大紫丁香 (2003年12月04日18:15:39 星期四), 站内信件

【 以下文字转载自 NewBoard 讨论区 】
【 原文由 fangzhe 所发表 】

物体与真空或者气体的界面称为表面。表面向外的一侧没有近邻原子，形成"悬空
键"，因此表面具有与体相不同的物理化学性质。

表面分析技术的特点用一个探针去探测样品表面，在两者相互作用时，从样品表面
发射及散射电子，离子，光子等，检测这些粒子的能量，角度分布，束流强度，从
而间接的得到了样品表面的信息。所用到的探针包括电子，离子，光子，中子，热
，声，电场和磁场。由于这些"发射"粒子都携带了表面信息，为了不至于在实验过
程中损失掉，一般都处在一定真空度下的环境下进行，所以又称为真空表面分析技
术。

表面分析的内容有：
1  表面形貌和结构，当达到原子级的分辨率时，二者没有什么区别（LEED,
   RHEED,FIM,FEM,STM,TEM）。
2  表面组分分析，表面的元素组成，化学态和分布(XPS,AES，DAPS,SIMS)。
3  表面电子态，表面能级的性质，表面态密度分布，表面电荷分布及能量分布
   (EELS,UPS,ARPES,STM)。
4  表面原子态

表面分析仪器一般要包括激发源，样品架与分析室，分析器，探测器。以上部分一
般都需要在真空环境下工作，所以还需要真空系统。此外还有计算机控制系统及数
据处理系统。

表面分析技术的选择。表面分析方法有上百种，应该根据各自的实验目的来选择不
同的分析技术。
1  如果要检测较深度的信息，可用XPS,XPD，如果是浅深度的，可选用UPS,STM
2  如果对空间横向分辨率要求高可选SPM,SIMS，如果要求谱图能量分辨率高，可
   选用UPS
3  如果要求样品无损伤选SPM，损失弱选UPS,XPS
4  如果对特定元素分析，比如Ag，AES对其灵敏度很高
5  如果要求化学状态有高灵敏度，选AES

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