Physics 版 (精华区)

发信人: zjliu (秋天的萝卜), 信区: Physics
标  题: 光子晶体在激光器中的新用途
发信站: 哈工大紫丁香 (Fri Apr 25 20:03:45 2003) , 转信

德国Wurzburg大学的研究人员成功地采用二维光子晶体作为脊形波导激光器中的一个反
射镜。这一进展可开发出用于集成光路的片上半导体激光器。
    自20世纪80年代后期以来，世界上越来越多的科研人员对光子晶体研究产生了浓厚
的兴趣。光子晶体的周期性结构很独特，可阻止特殊波长的光传播。用这种光子晶体周
期性结构控制光的能力远高于用普通光学元件控制光的能力。
    为了在激光器脊的一端制造光子晶体反射镜，研究人员采用Cl2－Ar等离子体刻蚀法
把掩模上的小孔刻蚀到半导体材料上(见图1)。Al2O3掩模是在激光器包层上，通过对60
nm厚AlAs膜进行湿化学氧化生产，并通过另一种光刻胶用电子束刻蚀法在掩模上限定小
孔。
图1 刻蚀小孔阵列的光子晶体的扫描电子显微镜图像
    用InGaAs/AlGaAs半导体激光器验证，其效率高于采用很多清晰小反射镜片的普通半
导体激光器的效率。目前，研究人员正在对该项技术进行深入的研究。
    下一步将用这样的激光器与光子晶体波导结合，并已经提出可能研制光子晶体滤光
片和构成完整的集成光学系统。



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※ 来源:．哈工大紫丁香 http://bbs.hit.edu.cn [FROM: 202.118.229.86]