Physics 版 (精华区)

发信人: zjliu (秋天的萝卜), 信区: Physics
标  题: 消色差菲涅耳光学宽带超紫外和x射线成象
发信站: 哈工大紫丁香 (Sat Jul  5 08:59:25 2003)

Nature 424, 50 - 53 (03 July 2003); doi:10.1038/nature01756



Achromatic Fresnel optics for wideband extreme-ultraviolet and X-ray imaging


YUXIN WANG*, WENBING YUN* & CHRIS JACOBSEN*?

* Xradia, Inc., 4075A Sprig Drive, Concord, California 94520, USA
? Department of Physics & Astronomy, Stony Brook University, Stony Brook,
New York 11794, USA


Correspondence and requests for materials should be addressed to W.Y.
(wyun@xradia.com).




Advances in extreme-ultraviolet (EUV) and X-ray optics are providing
powerful new capabilities in high-resolution imaging and trace-element
analysis of microscopic specimens, and the potential for fabricating
devices of smaller critical dimensions in next-generation integrated
circuit lithography. However, achieving the highest resolution with such
optics usually requires the illuminating EUV or X-ray beam to be highly
monochromatic. It would therefore be highly desirable to have
large-field-of-view, sub-100-nm resolution optics that are achromatic to a
significant degree, allowing more light to be utilized from broader
bandwidth sources such as laser-produced plasmas. Here we report an
achromatic Fresnel optical system for EUV or X-ray radiation that combines
a Fresnel zone plate with a refractive lens with opposite chromatic
aberration. We use the large anomalous dispersion property of the
refractive lens material near an absorption edge to make its fabrication
practical. The resulting structure can deliver a resolution comparable to
that of the Fresnel zone plates that have achieved the highest resolution
(25 nm; ref. 3) in the entire electromagnetic spectrum, but with an
improvement of two or more orders of magnitude in spectral bandwidth.

--
╔═══════════════════╗
║★★★★★友谊第一  比赛第二★★★★★║
╚═══════════════════╝

※ 来源:．哈工大紫丁香 bbs.hit.edu.cn [FROM: 202.118.229.92]