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发信人: zjliu (秋天的萝卜), 信区: Science
标  题: 表面分析技术1－－－能量分析器(zz)
发信站: 哈工大紫丁香 (Fri May  9 10:49:24 2003) , 转信

能量分析器不是一个完整的表面分析仪器，只是其中的一部分－－－分析器，包括了能量


分析器，质量分析器，电场分析器

    能量分析器的作用是把具有特点能量的粒子挑选出来，并把其他能量的粒子过
滤掉，如果是进行扫描，依次选取不同能量，就可以测量得到能量的分布。本处只介绍

电子能量分析器，包括有飞行时间分析器（TOFA），阻挡势分析器（RPA），轨道偏转型

（包括磁偏转和静电偏转）。

下面以静电偏转分析器中的CMA，SDA为例简单介绍。

基本工作原理：
CMA由两个同轴圆筒组成，内筒上有两道环缝，覆以栅网，以便电子通过，内筒电
位为0，外筒电位为负，电子束从轴上一点出发，经入口处进入两圆筒间，电场偏
转后，只有合适能量的电子才可以从出口处通过，为探测器所接收。调节两筒间电
位差，即可以进行扫描。对于能量分析器，我们希望不同能量的粒子最大限度的被
散开（色散），相同能量的粒子尽可能会聚于一点（聚集），但是二者相互矛盾，
只能取折中。可以通过严格计算来表达出这个关系，输入不便，没有打出来。
具体计算步骤，先写出分析器中电位电场分布，列出电子在其中运动
的轨迹方程，求出电子能量与筒间电压的关系及聚集条件。

性能指标：
能量分辨率，通常给的分辨率都是FWHM，实际谱峰与理想谱峰相比有一定展宽，这
是由仪器聚集性能和出口缝处有一定宽度有关系。
传输率,定义为能够通过能量分析器的电子与源处电子的百分比率。
采用双CMA串连可以提高分析器的性能指标。

空间电荷效应，当电子束流大到一定程度时，其间斥力不可忽略，因此产生的散焦
现象比较明显，因此电子束流有一临界值。
低能电子对电场，磁场非常灵敏，需要对此屏蔽。



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※ 来源:．哈工大紫丁香 http://bbs.hit.edu.cn [FROM: 202.118.229.86]