Science 版 (精华区)
发信人: zjliu (秋天的萝卜), 信区: Science
标 题: 表面分析技术4---RHEED(zz)
发信站: 哈工大紫丁香 (Fri May 9 10:51:52 2003) , 转信
Reflection High Energy Electron Diffraction以高能电子为探束(10-30keV),
穿透深度和非弹性散射自由程都比较大,表面信息灵敏都比较低,因此采用掠入射
的办法,掠射角小于5度。
由于入射电子能量非常高,相应的Ewald球半径就非常大,其球结构近乎于平坦,
以至于与倒易杆相切,形成的不是衍射点,而是条纹。利用RHEED分析时,样品的
制备要求经过抛光,如果表面粗糙,凸起部分挡住了气体部分而产生衍射,得到了
一系列的衍射点。由于RHEED对表面形貌的敏感,经常用于MBE过程的检测。
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