Science 版 (精华区)

发信人: zjliu (秋天的萝卜), 信区: Science
标  题: 表面分析技术5－－－电子显微镜(zz)
发信站: 哈工大紫丁香 (Fri May  9 10:52:16 2003) , 转信

    电子显微镜是利用电子轰击样品而被散射后或者二次电子来成像。TEM是利用透射
电子来成像，一般有分析型和高分辩型（高可达0.05nm，放大倍数60万倍)，工作模式有

成像模式和衍射模式，加速电压一般为50-200kV,高可达1.5MV。SEM是利用二次电子或者

背散射电子来成像，分辨率较低，一般配有如EDX,EELS等分析仪器。关于电子显微镜的

著作有很多可以参考，这里只简单介绍比较特殊的TEM样品制备。

TEM样品室很小，并且是利用透射电子成像，因此样品制备不同其他分析手段。

TEM的样品一般都置于200目的直径为2－3mm的铜网上，样品厚度与材料性质与加速
电压有关。
分析颗粒或粉末状的样品需要先在铜网上制备一支持膜
1：Cu网和SiO2膜
    一般的办法是，先把石英晶粒和NaCl晶粒洒到钨螺旋上，通电加热，蒸发到云
母片的基底上，然后置于蒸馏水中，NaCl溶解，SiO2膜漂浮在水中，用铜网捞起。
SiO2膜对于电子的透过率比较好，这样方法制得的SiO2膜一般为无定形的，所以不
会对样品的实际成像造成太大的影响。
2：Cu网和C膜
    C膜的制备是利用石墨棒的放电而制备的。
分析薄膜样品时
3：溅射减薄样品
    利用离子束轰击样品，使样品厚度变薄，在样品下方置一光电接收器，并接负
反馈电路，控制离子束强度，当达到设定厚度时，轰击停止。
4：化学减薄样品
    漆料涂敷于样品周围，留下中间空白，滴入化学样品。这样制备比较快，但是
均匀性不好。
分析大块材料的表面形貌时
5：复型法
    用火棉胶或者C在样品表面蒸镀一层膜，待干燥后剥离置于铜网上，前者为负
复型，凹陷部分复型厚。这样的办法有较好的立体感，但是分辨率不够高，不能观
察到样品内部结构，仅限于表面形貌。

另外一些样品置于空气中容易发生氧化，而使样品发生变化，因此需要氮气等惰性
气体作为保护气体。




--

※ 来源:．哈工大紫丁香 http://bbs.hit.edu.cn [FROM: 202.118.229.86]