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发信人: zjliu (秋天的萝卜), 信区: Science
标  题: 表面分析技术7－－－AES(2)（zz)
发信站: 哈工大紫丁香 (Fri May  9 15:16:55 2003) , 转信

AES谱仪实验装置与其他电子谱仪装置具有一般的基本结构，由初级电子探针系统
，快速进样系统，能量分析系统和数据采集系统等构成。


谱图的获得：样品在激发源的作用发射出来的电子不只是有Auger电子，而且包括
BSE,SE
等，它们形成了强大的本底。实际测量中初电子能量大小伪50eV-2keV，可以避开
两个高峰。
测量的谱图有直接谱和微分谱，直接谱SNR太低，通常采用微分谱。微分谱的获得
可以利
用锁定放大器获得，也可以采集Auger电子能量数据在计算机中微分获得。直接谱
经微分后
最初的一个Auger峰变为正负两个峰，分析时，取负峰能量值为Auger峰能量，峰－
峰值为
其强度。微分谱提高了SNR，但是也损失掉了一些有用信息。


谱图的分析：
1：定性分析。首先确定强峰能量值，查手册得出为何种元素，对于一些不能确定
的峰，改变初电子能量，如果峰发生移动，可以认为不是Auger峰。
2：定量分析是确定表面各元素的含量。
   （1）纯元素标样法，保持纯元素与分析样品相同测试条件，比较谱峰高度，得
到其含量。
   （2）相对灵敏度因子法，已知样品一种元素的含量，其他元素峰高相对于该元
素所对应峰高，得出元素含量。这种方法需要满足背散射增强因子相同，非弹散射
自由程相同，谱峰形状相同，表面粗糙度相同的条件才可以适用，否则会造成误差
。
3：微区分析，电子束斑有一定尺寸，可以在样品表面进行扫描得到表面不同部位
元素的分布情况，这种分析方法SNR较小，测试过程过长样品会发生热漂移。
4：深度剖面分析，用惰性气体离子轰击样品表面以得到样品内部各层的成分分析
。

测试条件对谱图分析的影响
1：杂散磁场会严重影响能量分析器的分辨率
2：初级电子束产生脱附，热效应会使表面发生变化
3：化学效应，同一元素同一Auger峰在不同的化学环境下峰的位置和形状也不同，
Auger过程比较复杂，其化学效应不如XPS那样容易测量和识别。另外Auger电子从
产生到输运到表面过程中由能量损失而引起的"伴峰"，在不同化学环境中也有不同
。
4：荷电效应，如果分析的样品为绝缘体，二次电子发散系数会对谱图有影响。当
二次电子发射系数大于一，表面会带正电，峰向低能侧发生移动；小于一时，电荷
积累不稳定，Auger峰为测不准。



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※ 来源:．哈工大紫丁香 http://bbs.hit.edu.cn [FROM: 202.118.229.86]