Science 版 (精华区)

发信人: zjliu (秋天的萝卜), 信区: Science
标  题: 表面分析技术8－－－AES(3)（zz)
发信站: 哈工大紫丁香 (Fri May  9 19:52:06 2003) , 转信

Appearance potential spectroscopy 不仅可以对表面组分进行分析，而且可以对
表面电子结构进行分析。一定能量E的初电子轰击样品表面，在初电子达到一定的
能量时，样品发射出粒子，测出粒子流强度与初电子能量关系的谱图。根据入射出
射粒子的不同可以分为SXAPS,AEAPS,XPAPS等。

实验装置非常简单，以电子为入射源时，一般不用电子枪，用阴极灯丝，阴极与靶
之间加一定电压，和收集级一并置于真空系统中，对于AEAPS，所测的Auger电子在
强大的能量背底中，测量此微弱信号需要用到锁定放大器。灯丝到样品距离约3mm
，靶流为10－20微安，扫描电压速率0.2-0.4V/s，扫描范围100V－1500V。能量分
辨率优于XPS，为0.3-0.5eV。

对于AEAPS，Auger电子处于强大的能量背景中，一般不采取测量直接谱，而是一次
微分谱或者二次微分谱。在表面成分分析中，对过渡元素分析的灵敏度很高，比如
Ti,Sc,La等，但对于贵元素如Au,Ag,Cu等灵敏度很低。由于激活能＝结合能－电子
动能，还可以测得电子的结合能。收集级处的二次电子发射会对谱图分析带来误差
，在谱图分析中须考虑到这个因素。另外可以把收集级改造为接地的屏蔽套，三级
的APS可以变为二级.。




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※ 来源:．哈工大紫丁香 http://bbs.hit.edu.cn [FROM: 202.118.229.86]