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发信人: zjliu (秋天的萝卜), 信区: Science
标 题: 表面分析技术10---FEM(zz)
发信站: 哈工大紫丁香 (Sun May 18 09:48:15 2003) , 转信
FEM主要用途于结构分析,与其他结构分析方法不同的是它主要是用于样品尖端的
结构分析。其主要原理为场致电子发射和热场电子发射,在强场的作用下,样品表
面的势垒变薄变厚,电子隧传出表面到真空,携带了样品的信息。实验装置:样品
焊接在支撑热丝上,位于球壳中心,荧光屏先喷上透明导电层再沉积荧光物质,样
品接负电位,荧光屏接正电位。因为样品需要作为针尖状,一般都采用电化学腐蚀
法,尖端处半径一般为几百纳米,由于尖端处电场很强,针尖可能会在强电流下被
打弯打坏,因此在一定高温下对针尖做热钝化处理,原子在高温下容易移动,在表
面张力的作用下,移到半径小的地方,使针尖变钝。有时候为了使针尖变尖,加一
电场处理,表面原子在电场作用下沿电场方向重建。由于这样的原因,FEM只能分
析很少种类的样品。
放大倍数:M=荧光屏的半径/(常数×针尖半径),由于针尖与荧光屏并非同心圆
,因此做一常数的修正,一般为1.5-2。
分辨率:电子从样品中发射出来,由于热运动的缘故,在切向方向也有运动,另外
电子本身的波动性比较大,因此限制了分辨率,约为20埃左右。
分析:针尖上不同晶面上电子的逸出功不同,反映在图中就是斑点亮度的不同,由
此可对样品的逸出功进行分析。此外还可以对吸附现象,表面扩散和表面相的生成
等现象进行分析。
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