Science 版 (精华区)

发信人: zjliu (秋天的萝卜), 信区: Science
标  题: 表面分析技术15(2)－－－离子分析谱
发信站: 哈工大紫丁香 (2003年06月25日18:22:49 星期三), 站内信件

离子光学系统。
离子枪处要求有工作气体，而样品室要求为超高真空，为解决此矛盾采用差分排气

系统。

ISS，根据经典散射理论可以得到当散射角为90度时，散射后离子能/入射离子能＝

(靶原子质量数－入射离子质量数)/( 靶原子质量数＋入射离子质量数)，散射离子

的能量分布就表示了靶表面的原子质量分布，谱峰强度则于入射离子种类，能量，

角度以及散射势场多种因素有关。可用于分析表面元素分析以及表面气体吸附情况

等。

SIMS，如果使用分辨率很大的质谱仪，可以在SIMS的谱峰中分辩出元素的同位素；

在SIMS谱峰中，除了在主峰位处，还可以在1/2,1/3主峰位处观察到强度较大的峰

，这是该元素的多价离子，也可以在主峰位的2,3倍处观测到强度较大的峰，这是

离子团。
次级离子发射的理论模型有
1：适用于解释金属，合金，电子密度大和屏蔽性高的样品的动力学模型。该模型

认为初级离子把能量交给晶格，表面原子获得能量以激发态而被溅射，在距离表面

约几埃处通过发射Auger电子来退激发形成正离子（自电离）。这种模型可以很好

的解释表面对离子的电屏蔽作用，认为二次离子在表面外产生而不是在样品内。
2：适用于离子型化合物，电负性较强元素形成的化合物的断键模型。该模型认为

在一次离子的作用下，样品的键发生断裂，在断了一定程度后，溅射产额达到饱和

。认为二次离子产生于样品内部。
3：适用于导热性差的样品的局域热平衡模型。
4：原子价模型。
根据一次离子束流密度的大小把SIMS的工作模式分为动态模型和静态模型。动态模

型束流密度高，溅射速率大，常用于深度剖析和微区分析。静态模型离子束流密度

小，为了保持灵敏度，需要采用较大直径的束斑。
SIMS虽然么灵敏度大的优点，但这是以损坏样品为代价的，而且相应理论不成熟，

不易进行定量分析，当成分复杂时候，荷质比发生重叠的可能增加，造成分析的困

难。
--
╔═══════════════════╗
║★★★★★友谊第一  比赛第二★★★★★║
╚═══════════════════╝

※ 来源:·哈工大紫丁香 bbs.hit.edu.cn·[FROM: 202.118.229.86]